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脉冲磁控溅射电源主要参数开发

时间:2022-03-10 15:23:05点击:

PCB抄板,即在已经有电子产品实物和电路板实物的前提下,利用反向研发技术手段对电路板进行逆向解析,将原有产品的PCB文件、物料清单(BOM)文件、原理图文件等技术文件以及PCB丝印生产文件进行1:1的还原,然后再利用这些技术文件和生产文件进行PCB制板、元器件焊接、飞针测试、电路板调试,完成原电路板样板的完整复制。
 
主要性能:
大功率脉冲磁控溅射电源以快速开关控制正负电极放电,避免从传统磁控溅射之异常辉光放电区进入电弧放电区,电流密度可达1019 /m3 ,比传统磁控溅射高三个量级,离化率更高达70%-100% ,可轻易沉积各种高级膜,附着力强。几乎不用改变原来磁控溅射镀膜设备,可直接更换电源即可。
 
主要特点:
DSP全数字控制,自动化程度高;
具有过流、过压、超温保护;
全逆变设计,大功率IGBT功率模块为主要器件,脉冲输出有较强的冲击力,单脉冲功率可达MW级。
 
主要参数:
1、输入电压:380V±5%,50HZ,三相交流;
2、输出电压:100V-4000V,脉冲电压;
3、输出电流:100A-2000A,脉冲电流;
4、输出脉宽:5-2500us,可设定;
5、频率:30Hz-50kHz,可选择范围;
6、输出功率:10KW  20KW  30KW  40KW  50KW。
 
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