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酸性蚀刻的基础知识介绍

发布时间:2009-09-09 15:27:36  来源:本站整理


  5)氯气再生
  主要的再生反应为:Cu2Cl2+Cl2 ->2CuCl2由于氯气是强氧化剂,直接通
  氯气是再生的最好方法。因为它的成本低,再生速率快。但是,很难做到使氯气全部都参加反应,如有氯气溢出,会污染环境。故该法要求蚀刻
  6)氯气再生
  主要的再生反应为:Cu2Cl2+Cl2 ->2CuCl2由于氯气是强氧化剂,直接通
  氯气是再生的最好方法。因为它的成本低,再生速率快。但是,很难做到使氯气全部都参加反应,如有氯气溢出,会污染环境。故该法要求蚀刻。酸性蚀刻液的主要成份:CuCL2.2H2O, HCl,NaCl,NH4Cl,H2O
  酸性氯化铜蚀刻过程的主要化学反应在蚀刻过程中,氯铜中的Cu2+具有氧化性,能将板氧
  化成Cu1+ ,其反应如下:
  蚀刻反应:Cu+CuCl2->Cu2Cl2
  形成的Cu2Cl2是不易溶于水的在有过量的Cl-存在下,能形成可溶性的络合离子,其反应如下:
  络合反应: Cu2Cl2 +4Cl- ->2[CuCl3]2-
  随着铜的蚀刻,溶液中的Cl1+越来越多,蚀刻能力很快就会下降,直到最后失去效能。为保持蚀刻能力,可以过溶液再生的方式将Cu1+重新转换成CU2+.保证蚀刻能力。
  蚀刻液的再生:
  再生的原理主要是利用氧化剂将溶液中的Cu1+ 氧化成Cu2+。

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